Spesifikasi | 99,999% |
Oksigen + Argon | ≤1 ppm |
Nitrogen | ≤4 ppm |
Kelembapan (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halokarbin | ≤1 ppm |
Total Impurities | ≤10 ppm |
Karbon tetrafluorida minangka hidrokarbon halogenasi kanthi rumus kimia CF4. Bisa dianggep minangka hidrokarbon halogenasi, metana halogenasi, perfluorokarbon, utawa minangka senyawa anorganik. Karbon tetrafluorida minangka gas sing ora ana warna lan ora ana ambune, ora larut ing banyu, larut ing benzena lan kloroform. Stabil ing suhu lan tekanan normal, supaya oksidan kuwat, bahan sing gampang kobong utawa gampang kobong. Gas non-combustible, meksa internal wadhah bakal nambah nalika kapapar panas dhuwur, lan ana bebaya retak lan bledosan. Iku kimia stabil lan non-kobong. Mung reagen logam amonia-sodium cair sing bisa digunakake ing suhu kamar. Karbon tetrafluorida minangka gas sing nyebabake efek omah kaca. Iku banget stabil, bisa tetep ing atmosfer kanggo dangu, lan gas omah kaca banget kuat. Karbon tetrafluorida digunakake ing proses etsa plasma saka macem-macem sirkuit terpadu. Iki uga digunakake minangka gas laser, lan digunakake ing refrigeran suhu rendah, pelarut, pelumas, bahan insulasi, lan pendingin kanggo detektor inframerah. Iki minangka gas etsa plasma sing paling akeh digunakake ing industri mikroelektronik. Iki minangka campuran tetrafluoromethane gas kemurnian dhuwur lan tetrafluoromethane gas kemurnian dhuwur lan oksigen kemurnian dhuwur. Bisa digunakake kanthi akeh ing silikon, silikon dioksida, silikon nitrida, lan kaca fosfosilikat. Etsa bahan film tipis kayata tungsten lan tungsten uga akeh digunakake ing reresik permukaan piranti elektronik, produksi sel surya, teknologi laser, pendinginan suhu rendah, inspeksi bocor, lan deterjen ing produksi sirkuit cetak. Digunakake minangka refrigeran suhu rendah lan teknologi etsa garing plasma kanggo sirkuit terpadu. Pancegahan kanggo panyimpenan: Simpen ing gudang gas non-combustible sing adhem lan berventilasi. Tetep adoh saka geni lan sumber panas. Suhu panyimpenan ngirim ora ngluwihi 30 ° C. Sampeyan kudu disimpen kanthi kapisah saka gampang (combustible) combustibles lan oksidan, lan supaya panyimpenan campuran. Area panyimpenan kudu dilengkapi peralatan perawatan darurat bocor.
① Refrigerant:
Tetrafluoromethane kadhangkala dipigunakaké minangka refrigeran suhu rendah.
② Etching:
Iki digunakake ing mikrofabrikasi elektronik piyambak utawa ing kombinasi karo oksigen minangka etchant plasma kanggo silikon, silikon dioksida, lan silikon nitrida.
produk | Karbon TetrafluoridaCF4 | ||
Ukuran Paket | Silinder 40 Ltr Kab | Silinder 50 Ltr Kab | |
Isi Bobot Net / Cyl | 30 Kg | 38 Kg | |
QTY Dimuat ing 20'Container | 250 Cilik | 250 Cilik | |
Total Bobot Net | 7,5 ton | 9,5 ton | |
Bobot Tare Silinder | 50 Kgs | 55 Kg | |
katup | CGA 580 |
①Kemurnian dhuwur, fasilitas paling anyar;
②Produsen sertifikat ISO;
③Pangiriman cepet;
④Sistem analisis on-line kanggo kontrol kualitas ing saben langkah;
⑤Persyaratan dhuwur lan proses tliti kanggo nangani silinder sadurunge ngisi;