Gastures Ultra-High (UHP) yaiku lifeblood industri semikonduktor. Minangka panjaluk lan gangguan sing durung ana gangguan kanggo rantai persediaan global nyurung rega tekanan ultra-dhuwur, desain semikonduktor anyar lan praktik produsen anyar sing dibutuhake. Kanggo produsen semikonduktor, bisa njamin kesucian gas UHP luwih penting tinimbang sadurunge.

Gasurnuritas (UHP) pancen apik banget kanggo pabrik semikonduktor modern

Salah sawijining aplikasi utama gas UHP yaiku inersization: gas UHP digunakake kanggo nyedhiyakake suasana proteksi ing komponen semikonduktor, saéngga nglindhungi saka efek kelembapan, oksigen lan liyane ing swasana. Nanging, inersization minangka salah sawijining macem-macem fungsi sing ditindakake gas ing industri semikonduktor. Saka gas plasma utama kanggo gas reaktif sing digunakake ing etching lan annealing, gas tekanan tinggi digunakake kanggo macem-macem tujuan lan penting ing saindhenging rantai pasokan semikonduktor.

Sawetara gas "inti" ing industri semikonduktor kalebunitrogen(digunakake minangka pembersihan umum lan gas inert),argon(digunakake minangka gas plasma utama ing etching lan reaksi deposisi),helium(Digunakake minangka gas inert karo properti transfer panas khusus) lanhidrogen(Muter pirang-pirang peran ing annealing, deposisi, Epitoxy lan Plasma ngresiki).

Minangka teknologi semikonduktor wis berkembang lan diganti, dadi gas sing digunakake ing proses manufaktur. Dina iki, tanduran manufaktur semikonduktor nggunakake macem-macem gas, saka gas mulia kayataKryptonlanneonKanggo reaktif spesies kayata trifluorida nitrogen (NF 3) lan tungsten hexafluoride (WF 6).

Tanduran sing akeh kanggo kesucian

Wiwit penemuan mikrochip komersial pertama, jagad iki wis nemoni peningkatan piranti semikonduktor. Sajrone limang taun kepungkur, salah sawijining cara sing paling penting kanggo nggayuh perbaikan kinerja kaya iki wis ngliwati "Ukuran Ukuran": Ngurangi dimensi tombol arsitektur chip sing ana ing papan sing diwenehake. Kajaba iku, pangembangan arsitektur chip anyar lan panggunaan bahan sing nglereni wis ngasilake lompat ing kinerja piranti.

Dina iki, dimensi kritis saka semikonduktor sing nglereni saiki cilik kanthi ukuran skala ora ana cara sing bisa kanggo nambah kinerja piranti. Nanging, peneliti semikonduktor nggoleki solusi ing bentuk bahan novel lan arsitektur chip 3d.

Dekade desain ulang babagan piranti semikonduktor saiki luwih kuat tinimbang microchips lawas - nanging uga luwih ringkih. Tekan teknologi kimia 300mm Wefer duwe tingkat kontrol sing dibutuhake kanggo manufaktur semikonduktor. Malah kontaminasi sethithik ing proses manufaktur (utamane gas langka utawa inert) bisa nyebabake gagal peralatan bencana - saéngga kemurnian gas saiki luwih penting tinimbang sadurunge.

Kanggo tanduran lemari semikonduktor, gas sing paling gedhe-gedhe sing wis paling gedhe yaiku biaya material paling gedhe sawise silikon dhewe. Biaya kasebut mung diarepake tambah akeh kanggo semikonduktor kanthi dhuwur. Acara ing Eropa wis nyebabake gangguan tambahan kanggo pasar gas alam sing tekanan ultra dhuwur. Ukraina minangka salah sawijining ekspor paling gedhe ing jagad kemurnian dhuwurneonpratandha; Invasi Rusia tegese persediaan gas langka dibuwang. Iki bakal dadi kekurangan lan rega sing luwih dhuwur saka gas mulia liyane kayataKryptonlanXenon.