Gas kemurnian ultra-dhuwur (UHP) minangka nyawa industri semikonduktor. Amarga panjaluk lan gangguan rantai pasokan global sing durung tau ana sadurunge, rega gas tekanan ultra dhuwur, desain semikonduktor anyar lan praktik manufaktur nambah tingkat kontrol polusi sing dibutuhake. Kanggo manufaktur semikonduktor, bisa njamin kemurnian gas UHP luwih penting tinimbang sadurunge.

Gas Kemurnian Tinggi Ultra (UHP) Pancen Kritis ing Manufaktur Semikonduktor Modern

Salah sawijining aplikasi utama gas UHP yaiku inertisasi: Gas UHP digunakake kanggo nyedhiyakake atmosfer protèktif ing saubengé komponen semikonduktor, saéngga nglindhungi saka efek mbebayani saka kelembapan, oksigen lan rereged liyane ing atmosfer. Nanging, inertization mung salah siji saka macem-macem fungsi gas ing industri semikonduktor. Saka gas plasma primer nganti gas reaktif sing digunakake kanggo etsa lan anil, gas tekanan ultra dhuwur digunakake kanggo macem-macem tujuan lan penting ing saindhenging rantai pasokan semikonduktor.

Sawetara gas "inti" ing industri semikonduktor kalebunitrogen(digunakake minangka reresik umum lan gas inert),argon(digunakake minangka gas plasma primer ing reaksi etsa lan deposisi),helium(digunakake minangka gas inert kanthi sifat transfer panas khusus) lanhidrogen(muter pirang-pirang peran ing anil, deposisi, epitaksi lan reresik plasma).

Minangka teknologi semikonduktor wis ngalami évolusi lan owah-owahan, uga gas sing digunakake ing proses manufaktur. Saiki, pabrik manufaktur semikonduktor nggunakake macem-macem gas, saka gas mulia kayatakriptonlanneonkanggo spesies reaktif kayata nitrogen trifluoride (NF 3) lan tungsten hexafluoride (WF 6).

Tuwuh dikarepake kanggo kemurnian

Wiwit panemuan microchip komersial pisanan, jagad wis nyekseni peningkatan sing meh eksponensial ing kinerja piranti semikonduktor. Sajrone limang taun kepungkur, salah sawijining cara sing paling apik kanggo ningkatake kinerja kaya iki yaiku liwat "skala ukuran": nyuda dimensi kunci arsitektur chip sing wis ana supaya bisa nyepetake luwih akeh transistor menyang papan tartamtu. Kajaba iku, pangembangan arsitektur chip anyar lan panggunaan bahan sing canggih wis ngasilake lompatan ing kinerja piranti.

Saiki, dimensi kritis semikonduktor mutakhir saiki cilik banget, mula ukuran skala ora bisa digunakake kanggo nambah kinerja piranti. Nanging, peneliti semikonduktor nggoleki solusi ing wangun bahan novel lan arsitektur chip 3D.

Puluhan taun desain ulang sing ora kesel tegese piranti semikonduktor saiki luwih kuat tinimbang microchip lawas - nanging uga luwih rapuh. Tekane teknologi fabrikasi wafer 300mm wis nambah tingkat kontrol impurity sing dibutuhake kanggo manufaktur semikonduktor. Malah kontaminasi sing paling cilik ing proses manufaktur (utamane gas langka utawa inert) bisa nyebabake kegagalan peralatan bencana - mula kemurnian gas saiki luwih penting tinimbang sadurunge.

Kanggo pabrik fabrikasi semikonduktor khas, gas kemurnian ultra-dhuwur wis dadi biaya bahan paling gedhe sawise silikon dhewe. Biaya kasebut mung bakal mundhak amarga permintaan semikonduktor mundhak nganti dhuwur. Acara ing Eropa nyebabake gangguan tambahan ing pasar gas alam tekanan ultra-tinggi. Ukraina minangka salah sawijining eksportir kemurnian dhuwur paling gedhe ing donyaneonpratandha; Invasi Rusia tegese pasokan gas langka sing diwatesi. Iki nyebabake kekurangan lan rega gas mulia liyane kayatakriptonlanxenon.