Gas kemurnian ultra-tinggi (UHP) minangka urat nadi industri semikonduktor. Amarga panjaluk sing durung tau ana sadurunge lan gangguan ing rantai pasokan global ndorong rega gas tekanan ultra-tinggi, desain semikonduktor anyar lan praktik manufaktur nambah tingkat kontrol polusi sing dibutuhake. Kanggo produsen semikonduktor, bisa njamin kemurnian gas UHP luwih penting tinimbang sadurunge.

Gas Kemurnian Ultra Tinggi (UHP) Pancen Penting banget ing Manufaktur Semikonduktor Modern

Salah sawijining aplikasi utama gas UHP yaiku inertisasi: Gas UHP digunakake kanggo nyedhiyakake atmosfer protèktif ing sekitar komponen semikonduktor, saéngga nglindhungi saka efek mbebayani saka kelembapan, oksigen, lan kontaminan liyané ing atmosfer. Nanging, inertisasi mung salah siji saka akèh fungsi sing ditindakake gas ing industri semikonduktor. Saka gas plasma primer nganti gas reaktif sing digunakake ing etsa lan annealing, gas tekanan ultra-dhuwur digunakake kanggo akèh tujuan sing béda lan penting ing saindhenging rantai pasokan semikonduktor.

Sawetara gas "inti" ing industri semikonduktor kalebunitrogen(digunakake minangka pembersih umum lan gas inert),argon(digunakake minangka gas plasma utama ing reaksi etsa lan deposisi),helium(digunakake minangka gas inert kanthi sifat transfer panas khusus) lanhidrogen(nduweni pirang-pirang peran ing annealing, deposisi, epitaksi lan pembersihan plasma).

Amarga teknologi semikonduktor wis berkembang lan owah, gas sing digunakake ing proses manufaktur uga wis owah. Saiki, pabrik manufaktur semikonduktor nggunakake macem-macem gas, saka gas mulia kayatakriptonlanneonmarang spesies reaktif kayata nitrogen trifluorida (NF 3 ) lan tungsten heksafluorida (WF 6 ).

Panjaluk kanggo kemurnian sing saya tambah

Wiwit ditemokake microchip komersial pisanan, jagad iki wis nyakseni peningkatan kinerja piranti semikonduktor sing meh eksponensial. Sajrone limang taun kepungkur, salah sawijining cara paling pasti kanggo entuk peningkatan kinerja iki yaiku liwat "skala ukuran": nyuda dimensi kunci arsitektur chip sing wis ana supaya bisa nyelip luwih akeh transistor menyang papan tartamtu. Saliyane iku, pangembangan arsitektur chip anyar lan panggunaan bahan canggih wis ngasilake lompatan ing kinerja piranti.

Saiki, dimensi kritis semikonduktor canggih saiki cilik banget saengga skala ukuran ora dadi cara sing bisa ditindakake kanggo ningkatake kinerja piranti. Nanging, para peneliti semikonduktor nggoleki solusi awujud bahan anyar lan arsitektur chip 3D.

Desain ulang tanpa kenal lelah pirang-pirang dekade tegese piranti semikonduktor saiki luwih kuat tinimbang microchip lawas — nanging uga luwih rapuh. Anane teknologi fabrikasi wafer 300mm wis nambah tingkat kontrol pengotor sing dibutuhake kanggo manufaktur semikonduktor. Sanajan kontaminasi paling sithik ing proses manufaktur (utamane gas langka utawa inert) bisa nyebabake kegagalan peralatan sing parah — mula kemurnian gas saiki luwih penting tinimbang sadurunge.

Kanggo pabrik fabrikasi semikonduktor khas, gas kanthi kemurnian ultra-tinggi wis dadi biaya bahan paling gedhe sawise silikon dhewe. Biaya kasebut mung diarepake bakal mundhak amarga panjaluk semikonduktor mundhak menyang level sing luwih dhuwur. Kedadeyan ing Eropa wis nyebabake gangguan tambahan ing pasar gas alam tekanan ultra-tinggi sing tegang. Ukraina minangka salah sawijining eksportir kemurnian tinggi paling gedhe ing donya.neonpratandha; Invasi Rusia tegese pasokan gas langka iki diwatesi. Iki banjur nyebabake kekurangan lan rega gas mulia liyane sing luwih dhuwur kayatakriptonlanxenon.