Boron triklorida (BCl3)Iku senyawa anorganik sing umum digunakake ing proses etsa garing lan deposisi uap kimia (CVD) ing manufaktur semikonduktor. Iki minangka gas tanpa warna kanthi ambu sing kuwat lan nyengat ing suhu ruangan lan sensitif marang udara lembab amarga hidrolisis kanggo ngasilake asam klorida lan asam borat.

Aplikasi Boron Triklorida

Ing industri semikonduktor,Boron trikloridaUtamane digunakake kanggo ngetsa garing aluminium lan minangka dopan kanggo mbentuk wilayah tipe-P ing wafer silikon. Iki uga bisa digunakake kanggo ngetsa bahan kayata GaAs, Si, AlN, lan minangka sumber boron ing aplikasi tartamtu. Kajaba iku, Boron triklorida digunakake sacara wiyar ing pangolahan logam, industri kaca, analisis kimia lan riset laboratorium.

Keamanan Boron Triklorida

Boron trikloridakorosif lan beracun lan bisa nyebabake kerusakan serius ing mripat lan kulit. Iki bakal terhidrolisis ing udara lembab kanggo ngeculake gas hidrogen klorida beracun. Mulane, langkah-langkah keamanan sing cocog kudu ditindakake nalika nangani.Boron triklorida, kalebu nganggo sandhangan protèktif, kacamata pelindung lan peralatan perlindungan pernapasan, lan operasi ing lingkungan sing ventilasiné apik.