Ing proses manufaktur pengecoran wafer semikonduktor kanthi proses produksi sing relatif maju, meh 50 jinis gas sing beda-beda dibutuhake. Gas umume dipérang dadi gas curah langas khusus.

Aplikasi gas ing industri mikroelektronika lan semikonduktor Panggunaan gas tansah nduweni peran penting ing proses semikonduktor, utamane proses semikonduktor sing digunakake sacara wiyar ing macem-macem industri. Saka ULSI, TFT-LCD nganti industri mikro-elektromekanik (MEMS) saiki, proses semikonduktor digunakake minangka proses manufaktur produk, kalebu etsa garing, oksidasi, implantasi ion, deposisi film tipis, lan liya-liyane.

Umpamane, akeh wong sing ngerti yen chip digawe saka wedhi, nanging yen dideleng saka kabeh proses manufaktur chip, luwih akeh bahan sing dibutuhake, kayata photoresist, cairan poles, bahan target, gas khusus, lan liya-liyane iku penting banget. Kemasan back-end uga mbutuhake substrat, interposer, pigura timbal, bahan pengikat, lan liya-liyane saka macem-macem bahan. Gas khusus elektronik minangka bahan paling gedhe nomer loro ing biaya manufaktur semikonduktor sawise wafer silikon, diikuti dening masker lan photoresist.

Kemurnian gas nduweni pengaruh sing penting marang kinerja komponen lan asil produk, lan keamanan pasokan gas ana hubungane karo kesehatan personel lan keamanan operasi pabrik. Yagene kemurnian gas nduweni pengaruh sing gedhe banget marang jalur proses lan personel? Iki ora berlebihan, nanging ditemtokake dening karakteristik gas sing mbebayani kasebut dhewe.

Klasifikasi gas umum ing industri semikonduktor

Gas Biasa

Gas biasa uga diarani gas curah: iki nuduhake gas industri kanthi syarat kemurnian luwih murah tinimbang 5N lan volume produksi lan dodolan sing gedhe. Iki bisa dipérang dadi gas pamisahan udara lan gas sintetis miturut cara persiapan sing béda. Hidrogen (H2), nitrogen (N2), oksigen (O2), argon (A2), lan liya-liyané;

Gas Khusus

Gas khusus nuduhake gas industri sing digunakake ing bidang tartamtu lan nduweni syarat khusus kanggo kemurnian, macem-macem, lan sifat. UtamaneSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... lan sapanunggalane.

Jinis-jinis gas khusus

Jinis gas khusus: korosif, beracun, gampang kobong, pendukung pembakaran, inert, lan liya-liyane.
Gas semikonduktor sing umum digunakake diklasifikasikake kaya ing ngisor iki:
(i) Korosif/beracun:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Gampang kobong: H2、CH4、SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Gampang kobong: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Inert: N2、CF4C2F6,C4F8、SF6CO2,Ne、KrDhèwèké…

Ing proses manufaktur chip semikonduktor, udakara 50 jinis gas khusus (sing diarani gas khusus) digunakake ing oksidasi, difusi, deposisi, etsa, injeksi, fotolitografi lan proses liyane, lan total langkah proses ngluwihi atusan. Contone, PH3 lan AsH3 digunakake minangka sumber fosfor lan arsenik ing proses implantasi ion, gas berbasis F CF4, CHF3, SF6 lan gas halogen CI2, BCI3, HBr umume digunakake ing proses etsa, SiH4, NH3, N2O ing proses film deposisi, F2/Kr/Ne, Kr/Ne ing proses fotolitografi.

Saka aspèk-aspèk ing ndhuwur, kita bisa mangerteni manawa akèh gas semikonduktor sing mbebayani kanggo awak manungsa. Utamane, sawetara gas, kaya ta SiH4, bisa kobong dhéwé. Anggere bocor, bakal reaksi kasar karo oksigen ing udhara lan wiwit kobong; lan AsH3 iku beracun banget. Sembarang kebocoran cilik bisa nyebabake bebaya kanggo nyawa manungsa, mula syarat kanggo keamanan desain sistem kontrol kanggo panggunaan gas khusus iku dhuwur banget.

Semikonduktor mbutuhake gas kanthi kemurnian dhuwur supaya nduweni "telung derajat"

Kemurnian gas

Isi atmosfer pengotor ing gas biasane dinyatakake minangka persentase saka kemurnian gas, kayata 99,9999%. Umumé, syarat kemurnian kanggo gas khusus elektronik tekan 5N-6N, lan uga dinyatakake kanthi rasio volume isi atmosfer pengotor ppm (bagean saben yuta), ppb (bagean saben milyar), lan ppt (bagean saben triliun). Lapangan semikonduktor elektronik nduweni syarat paling dhuwur kanggo kemurnian lan stabilitas kualitas gas khusus, lan kemurnian gas khusus elektronik umume luwih saka 6N.

Kekeringan

Kandungan banyu sithik ing gas kasebut, utawa teles, biasane dinyatakake ing titik embun, kayata titik embun atmosfer -70℃.

Karesikan

Cacahing partikel polutan ing gas, partikel kanthi ukuran partikel µm, dinyatakake ing pira partikel/M3. Kanggo udara sing dikompres, biasane dinyatakake ing mg/m3 residu padat sing ora bisa dihindari, sing kalebu kandungan lenga.