Jumlah Gas Khusus Elektronik paling gedhe - Nitrogen Trifluoride NF3

Industri semikonduktor lan industri panel negara kita njaga tingkat kamakmuran sing dhuwur. Nitrogen trifluoride, minangka gas elektronik khusus sing paling penting lan paling gedhe ing produksi lan pangolahan panel lan semikonduktor, nduweni ruang pasar sing wiyar.

Umume digunakake fluorine-ngemot gas elektronik khusus kalebusulfur heksafluorida (SF6)tungsten heksafluorida (WF6),karbon tetrafluorida (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) lan octafluoropropane (C3F8). Nitrogen trifluoride (NF3) utamané digunakake minangka sumber fluorine kanggo gas hidrogen fluoride-fluoride laser kimia dhuwur-energi. Sisih efektif (kira-kira 25%) saka energi reaksi antarane H2-O2 lan F2 bisa dirilis dening radiation laser, supaya HF-OF laser laser paling njanjeni antarane laser kimia.

Nitrogen trifluoride minangka gas etsa plasma sing apik banget ing industri mikroelektronik. Kanggo etsa silikon lan silikon nitrida, nitrogen trifluorida nduweni tingkat etsa lan selektivitas sing luwih dhuwur tinimbang karbon tetrafluorida lan campuran karbon tetrafluorida lan oksigen, lan ora ana polusi ing permukaan. Utamane ing etsa bahan sirkuit terpadu kanthi kekandelan kurang saka 1.5um, nitrogen trifluoride nduweni tingkat etsa lan selektivitas sing apik banget, ora ana sisa-sisa ing permukaan obyek etched, lan uga minangka agen pembersih sing apik banget. Kanthi pangembangan nanoteknologi lan pangembangan industri elektronik skala gedhe, panjaluke bakal tambah saben dina.

Minangka jinis gas khusus sing ngemot fluorine, nitrogen trifluoride (NF3) minangka produk gas khusus elektronik paling gedhe ing pasar. Iku kimia inert ing suhu kamar, luwih aktif tinimbang oksigen, luwih stabil saka fluorine, lan gampang kanggo nangani ing suhu dhuwur.

Nitrogen trifluoride utamané dipigunakaké minangka gas etsa plasma lan agen reresik kamar reaksi, cocok kanggo lapangan Manufaktur kayata Kripik semikonduktor, tampilan panel flat, serat optik, sel photovoltaic, etc.

Dibandhingake karo gas elektronik sing ngemot fluorine liyane, nitrogen trifluoride nduweni kaluwihan reaksi cepet lan efisiensi dhuwur, utamane ing etsa bahan sing ngemot silikon kayata silikon nitrida, nduweni tingkat etsa lan selektifitas sing dhuwur, ora ninggalake turahan ing permukaan obyek sing diukir, lan uga minangka agen pembersih sing apik banget, lan ora bisa ngobati lumahing lan proses pangolahan.