Gas elektronik khusus sing ngemot fluor umum kalebusulfur heksafluorida (SF6)tungsten heksafluorida (WF6),karbon tetrafluorida (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) lan octafluoropropane (C3F8).
Kanthi pangembangan nanoteknologi lan pangembangan industri elektronik skala gedhe, panjaluke bakal tambah saben dina. Nitrogen trifluoride, minangka gas elektronik khusus sing paling penting lan paling gedhe digunakake ing produksi lan pangolahan panel lan semikonduktor, nduweni ruang pasar sing wiyar.
Minangka jinis gas khusus sing ngemot fluor,nitrogen trifluorida (NF3)minangka produk gas khusus elektronik kanthi kapasitas pasar paling gedhe. Iku kimia inert ing suhu kamar, luwih aktif tinimbang oksigen ing suhu dhuwur, luwih stabil saka fluorine, lan gampang kanggo nangani. Nitrogen trifluoride utamané dipigunakaké minangka gas etsa plasma lan agen reresik kamar reaksi, lan cocok kanggo lapangan Manufaktur Kripik semikonduktor, tampilan panel warata, serat optik, sel photovoltaic, etc.
Dibandhingake karo gas elektronik liyane sing ngemot fluorine,nitrogen trifluoridanduweni kaluwihan reaksi cepet lan efisiensi dhuwur. Utamane ing etsa bahan sing ngemot silikon kayata silikon nitrida, nduweni tingkat etsa lan selektifitas sing dhuwur, ora ninggalake residu ing permukaan obyek sing diukir. Iki uga minangka agen pembersih sing apik banget lan ora ana polusi ing permukaan, sing bisa nyukupi kabutuhan proses pangolahan.
Wektu kirim: Sep-14-2024
