Tungsten hexafluoride (WF6) disimpen ing permukaan wafer liwat proses CVD, ngisi trenches sesambungan logam, lan nggawe sambungan logam ing antarane lapisan.
Ayo ngobrol babagan plasma dhisik. Plasma minangka jinis prakara sing dumadi saka elektron gratis lan ion sing diisi. Ana ing alam semesta lan asring dianggep minangka negara kaping papat. Iki diarani negara plasma, uga diarani "plasma". Plasma duwe konduktivitas listrik tinggi lan duwe efek sing kuwat karo lapangan elektromagnetik. Iki minangka gas biji sing beda-beda, dumadi saka elektron, ion, radikal gratis, partikel sing netral, lan foton. Plasma dhewe minangka campuran sing netral sing netral sing ngemot partikel aktif kanthi fisik lan kimia.
Panjelasan langsung yaiku ing tumindak energi dhuwur, molekul bakal ngatasi kekuwatan waota van Der, pasukan jaminan kimia, pasukan coulomb, lan nampilake bentuk listrik netral. Ing wektu sing padha, energi dhuwur sing diwenehake dening njaba sing bisa ngatasi telung pasukan ndhuwur. Fungsi, Elektron saiki negara gratis, sing bisa digunakake ing ngisor modulasi lapangan magnet, kayata proses etching Semikonduktor, proses CVD lan proses PVD lan Im.
Apa energi dhuwur? Ing teori, loro suhu sing dhuwur lan rf frekuensi dhuwur bisa digunakake. Umumé, suhu sing dhuwur meh ora bisa ditindakake. Suhu suhu iki dhuwur banget lan bisa uga cedhak karo suhu srengenge. Sejatine ora bisa digayuh ing proses kasebut. Mula, industri biasane nggunakake frekuensi dhuwur kanggo entuk. Plasma RF bisa nganti dhuwur 13mhz +.
Tungsten hexafluoride disabekti ing tumindak lapangan listrik, banjur uap-deposit kanthi lapangan magnetik. W atom padha karo wulu gandum mangsa lan tiba ing lemah miturut tumindak gravitasi. Alon-alon, w atom sing disimpen ing bolongan liwat, lan pungkasane diisi kebak liwat bolongan kanggo mbentuk inkonconnections logam. Saliyane nyepakpolake W atom ing lumantar bolongan, apa dheweke uga bakal disimpen ing permukaan wafer? Ya, mesthi. Umumé, sampeyan bisa nggunakake proses W-CMP, yaiku sing diarani proses penggilingan mekanik kanggo mbusak. Mirip karo sapu sapu kanggo nyapu lantai sawise salju salju. Salju ing lemah disapu, nanging salju ing bolongan ing lemah bakal tetep. Mudhun, kira-kira padha.
Wektu Pos: Des-24-2021
