Tungsten heksafluorida (WF6) diendapké ing lumah wafer liwat proses CVD, ngisi parit interkoneksi logam, lan mbentuk interkoneksi logam antar lapisan.
Ayo padha ngrembug babagan plasma dhisik. Plasma iku wujud materi sing kasusun saka elektron bebas lan ion sing diisi daya. Plasma iki ana ing jagad raya lan asring dianggep minangka kahanan materi kaping papat. Iki diarani kahanan plasma, uga diarani "Plasma". Plasma nduweni konduktivitas listrik sing dhuwur lan nduweni efek gandhengan sing kuwat karo medan elektromagnetik. Iki minangka gas sing terionisasi sebagian, kasusun saka elektron, ion, radikal bebas, partikel netral, lan foton. Plasma dhewe minangka campuran netral listrik sing ngemot partikel aktif sacara fisik lan kimia.
Panjelasan sing gampang yaiku ing sangisore aksi energi dhuwur, molekul kasebut bakal ngatasi gaya van der Waals, gaya ikatan kimia lan gaya Coulomb, lan nampilake wujud listrik netral sacara sakabehe. Ing wektu sing padha, energi dhuwur sing diwenehake dening njaba ngatasi telung gaya ing ndhuwur. Fungsi, elektron lan ion nampilake kahanan bebas, sing bisa digunakake kanthi artifisial ing sangisore modulasi medan magnet, kayata proses etsa semikonduktor, proses CVD, proses PVD lan IMP.
Apa sing diarani energi dhuwur? Sacara téori, RF suhu dhuwur lan frekuensi dhuwur bisa digunakaké. Umumé, suhu dhuwur meh ora mungkin digayuh. Syarat suhu iki dhuwur banget lan bisa uga cedhak karo suhu srengéngé. Sejatine ora mungkin digayuh ing proses kasebut. Mulane, industri biasane nggunakake RF frekuensi dhuwur kanggo nggayuh. RF plasma bisa tekan 13MHz+.
Tungsten heksafluorida diplasmakake ing sangisore aksi medan listrik, banjur diendapkan nganggo uap dening medan magnet. Atom W padha karo wulu angsa mangsa dingin lan tiba ing lemah ing sangisore aksi gravitasi. Alon-alon, atom W diendapkan menyang bolongan tembus, lan pungkasane diisi kanthi lengkap kanggo mbentuk interkoneksi logam. Saliyane ngendapkan atom W ing bolongan tembus, apa atom kasebut uga bakal diendapkan ing permukaan Wafer? Ya, mesthi. Umumé, sampeyan bisa nggunakake proses W-CMP, yaiku sing diarani proses penggilingan mekanik kanggo mbusak. Iki padha karo nggunakake sapu kanggo nyapu lantai sawise salju abot. Salju ing lemah disapu, nanging salju ing bolongan ing lemah bakal tetep ana. Mudhun, kira-kira padha.
Wektu kiriman: 24 Desember 2021
