Tungsten hexafluoride (WF6) disimpen ing permukaan wafer liwat proses CVD, ngisi trenches interconnection logam, lan mbentuk interconnection logam antarane lapisan.
Ayo ngomong babagan plasma dhisik. Plasma minangka wangun materi sing utamané kasusun saka elektron bebas lan ion sing diisi. Ana sacara wiyar ing alam semesta lan asring dianggep minangka negara papat materi. Iki diarani negara plasma, uga disebut "Plasma". Plasma nduweni konduktivitas listrik sing dhuwur lan nduweni efek kopling sing kuat karo medan elektromagnetik. Iki minangka gas sing sebagian terionisasi, kasusun saka elektron, ion, radikal bebas, partikel netral, lan foton. Plasma kasebut minangka campuran netral listrik sing ngemot partikel aktif fisik lan kimia.
Panjelasan langsung yaiku yen ing aksi energi dhuwur, molekul kasebut bakal ngatasi gaya van der Waals, gaya ikatan kimia lan gaya Coulomb, lan nampilake wujud listrik netral sacara sakabehe. Ing wektu sing padha, energi dhuwur sing diwenehake dening njaba ngatasi telung pasukan ing ndhuwur. Fungsi, elektron lan ion nampilake negara bebas, sing bisa digunakake sacara artifisial ing modulasi medan magnet, kayata proses etsa semikonduktor, proses CVD, PVD lan proses IMP.
Apa energi dhuwur? Ing teori, loro suhu dhuwur lan frekuensi dhuwur RF bisa digunakake. Umumé, suhu dhuwur meh ora bisa ditindakake. Kebutuhan suhu iki dhuwur banget lan bisa uga cedhak karo suhu srengenge. Iku Sejatine mokal kanggo entuk ing proses. Mulane, industri biasane nggunakake RF frekuensi dhuwur kanggo entuk. Plasma RF bisa nganti 13MHz +.
Tungsten hexafluoride plasmaized ing tumindak medan listrik, lan banjur uap-simpen dening medan magnet. Atom W padha karo wulu angsa mangsa lan tiba ing lemah amarga tumindak gravitasi. Alon-alon, atom W sing setor menyang liwat bolongan, lan pungkasanipun kapenuhan Full liwat bolongan kanggo mbentuk interconnections logam. Saliyane depositing atom W ing bolongan liwat, bakal padha uga setor ing lumahing Wafer? Ya, mesthi. Umumé ngandika, sampeyan bisa nggunakake proses W-CMP, kang kita nelpon proses mecah mechanical kanggo mbusak. Iku padha karo nggunakake sapu kanggo nyapu lantai sawise salju abot. Salju ing lemah kesapu, nanging salju ing bolongan ing lemah bakal tetep. Mudhun, kira-kira padha.
Wektu kirim: Dec-24-2021
