Elektronikgas khususminangka cabang sing penting saka gas khusus. Dheweke nembus meh kabeh link produksi semikonduktor lan bahan mentah sing ora bisa diowahi kayata produksi industri elektronik kayata sirkuit integrasi, piranti terintegrasi kanthi ukuran, piranti solar.

Ing teknologi semikonduktor, gas sing ngemot fluorine digunakake. Saiki, ing pasar gas elektronik global, gas gas elektronik fluorine sekitar 30% saka total. Gas elektronik sing ngemot fluorine minangka komponen penting saka gas elektronik khusus ing bidang bahan informasi elektronik. Digunakake utamane minangka agen pembersih lan agen etching, lan uga bisa digunakake minangka koper, bahan sing mbentuk film, lan sapiturute ing artikel iki, panulis bakal sampeyan ngerteni gas sing ngemot fluorine umum.

Ing ngisor iki umume digunakake fluorine-gas

Trifluoride Nitrogen (NF3): Gas sing digunakake kanggo reresik lan mbusak celengan, biasane digunakake kanggo reresik rereged lan permukaan peralatan.

Sulfur Hexafluoride (SF6): Agen fluorating sing digunakake ing proses pemroses oksida lan minangka gas insulasi kanggo ngisi media insulasi.

Fluorida hidrogen (HF): digunakake kanggo mbusak oksida saka permukaan silikon lan minangka etchant kanggo silikon etching lan bahan liyane.

Fluorida Nitrogen (NF): Digunakake kanggo etch bahan kayata silikon nitrida (dosa) lan aluminium nitride (aln).

Trifluorometomethane (CHF3) lanTetrafluorometomo (CF4): Digunakake kanggo etch Bahan Fluorida kayata fluorida lan fluorida aluminium.

Nanging, gas sing ngemot fluorine duwe bahaya tartamtu, kalebu beracun, korosiveness, lan flammability.

Keracunan

Sawetara gas sing ngemot fluorine beracun, kayata fluorida hidrogen (HF), sing uap kasebut pancen ngganggu kanggo saluran kulit lan ambegan lan mbebayani kanggo kesehatan manungsa.

Korиiveness

Fluorida hidrogen lan sawetara fluorida banget corrosive lan bisa nyebabake kerusakan ing kulit, mata lan saluran pernapasan.

Flammability

Sawetara fluorida flammable lan reaksi karo oksigen utawa banyu ing udhara kanggo ngeculake gas panas lan beracun, sing bisa nyebabake geni utawa jeblugan.

Bahaya Tinggi

Sawetara gas sing fluorinated yaiku njeblug kanthi tekanan dhuwur lan mbutuhake perawatan khusus nalika digunakake lan disimpen.

Efek ing lingkungane

Gas sing ngemot fluorine duwe gaya urip atmosfer sing dhuwur, sing duwe efek ngrusak ing lapisan ozon atmosfer lan bisa nyebabake polusi pemanasan global lan polusi pemanasan global.

Aplikasi gas ing lapangan sing berkembang kayata Elektronik terus luwih jero, nggawa permintaan anyar kanggo gas industri. Adhedhasar jumlah kapasitas produksi komponen anyar kayata semikonis lan panel nampilake ing daratan China, uga permudaran sing bisa diimpor kanggo tingkat gas-bahan elektronik sing bakal digabung.