Elektronikgas khususminangka cabang penting saka gas khusus. Gas iki nembus meh saben pranala produksi semikonduktor lan minangka bahan mentah sing ora bisa dipisahake kanggo produksi industri elektronik kayata sirkuit terpadu skala ultra-gedhe, piranti tampilan panel datar, lan sel surya.

Ing teknologi semikonduktor, gas sing ngandhut fluor digunakake sacara wiyar. Saiki, ing pasar gas elektronik global, gas elektronik sing ngandhut fluor nyumbang udakara 30% saka total. Gas elektronik sing ngandhut fluor minangka komponen penting saka gas elektronik khusus ing bidang bahan informasi elektronik. Gas kasebut utamane digunakake minangka agen pembersih lan agen etsa, lan uga bisa digunakake minangka dopan, bahan pembentuk film, lan liya-liyane. Ing artikel iki, penulis bakal ngajak sampeyan ngerti gas sing ngandhut fluor umum.

Ing ngisor iki gas-gas sing ngandhut fluor sing umum digunakake

Nitrogen trifluorida (NF3): Gas sing digunakake kanggo ngresiki lan mbusak endapan, biasane digunakake kanggo ngresiki ruang reaksi lan permukaan peralatan.

Sulfur heksafluorida (SF6)Agen fluorinasi sing digunakake ing proses deposisi oksida lan minangka gas insulasi kanggo ngisi media insulasi.

Hidrogen fluorida (HF): Digunakake kanggo mbusak oksida saka permukaan silikon lan minangka etsa kanggo ngetsa silikon lan bahan liyane.

Nitrogen fluorida (NF): Digunakake kanggo ngethok bahan kayata silikon nitrida (SiN) lan aluminium nitrida (AlN).

Trifluorometana (CHF3) lantetrafluorometana (CF4)Digunakake kanggo ngukir bahan fluoride kayata silikon fluoride lan aluminium fluoride.

Nanging, gas sing ngandhut fluor nduweni bebaya tartamtu, kalebu keracunan, korosif, lan gampang kobong.

Keracunan

Sawetara gas sing ngandhut fluor iku beracun, kayata hidrogen fluorida (HF), sing uapnya ngiritasi kulit lan saluran pernapasan lan mbebayani kanggo kesehatan manungsa.

Sifat korosif

Hidrogen fluorida lan sawetara fluorida nduweni sipat korosif banget lan bisa nyebabake kerusakan serius ing kulit, mripat, lan saluran pernapasan.

Gampang kobong

Sawetara fluorida gampang kobong lan reaksi karo oksigen utawa banyu ing udhara kanggo ngeculake panas sing kuat lan gas beracun, sing bisa nyebabake geni utawa bledosan.

Bebaya tekanan dhuwur

Sawetara gas sing ngandhut fluorinasi gampang njeblug ing tekanan dhuwur lan mbutuhake perawatan khusus nalika digunakake lan disimpen.

Dampak marang lingkungan

Gas-gas sing ngandhut fluor nduweni umur urip atmosfer lan nilai GWP sing dhuwur, sing nduweni efek ngrusak lapisan ozon atmosfer lan bisa nyebabake pemanasan global lan polusi lingkungan.

Panggunaan gas ing bidang-bidang anyar kaya ta elektronik terus saya tambah, nggawa akeh panjaluk anyar kanggo gas industri. Adhedhasar akeh kapasitas produksi anyar komponen elektronik utama kaya ta semikonduktor lan panel tampilan ing daratan China ing sawetara taun sabanjure, uga panjaluk sing kuwat kanggo substitusi impor bahan kimia elektronik, industri gas elektronik domestik bakal nggawa tingkat pertumbuhan sing dhuwur.