elektronikgas khususminangka cabang penting saka gas khusus. Dheweke nembus meh kabeh tautan produksi semikonduktor lan minangka bahan mentah sing penting kanggo produksi industri elektronik kayata sirkuit terpadu ultra-gedhe, piranti tampilan panel datar, lan sel surya.

Ing teknologi semikonduktor, gas sing ngemot fluorine digunakake kanthi akeh. Saiki, ing pasar gas elektronik global, gas elektronik sing ngemot fluorine kira-kira 30% saka total. Gas elektronik sing ngemot fluorine minangka komponen penting saka gas elektronik khusus ing bidang bahan informasi elektronik. Utamane digunakake minangka agen reresik lan agen etsa, lan uga bisa digunakake minangka dopan, bahan pembentuk film, lan liya-liyane. Ing artikel iki, penulis bakal nggawa sampeyan ngerti gas sing ngemot fluorin umum.

Ing ngisor iki umume gas sing ngemot fluorine

Nitrogen trifluoride (NF3): Gas sing digunakake kanggo ngresiki lan mbusak celengan, biasane digunakake kanggo ngresiki kamar reaksi lan permukaan peralatan.

Sulfur heksafluorida (SF6): Agen fluorinating sing digunakake ing proses deposisi oksida lan minangka gas insulasi kanggo ngisi media insulasi.

Hidrogen fluoride (HF): Digunakake kanggo mbusak oksida saka permukaan silikon lan minangka etchant kanggo etsa silikon lan bahan liyane.

Nitrogen fluoride (NF): Digunakake kanggo etsa bahan kayata silikon nitrida (SiN) lan aluminium nitrida (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) lantetrafluoromethane (CF4): Digunakake kanggo etch bahan fluoride kayata silikon fluoride lan aluminium fluoride.

Nanging, gas sing ngemot fluorine duwe bebaya tartamtu, kalebu keracunan, korosif, lan gampang kobong.

Keracunan

Sawetara gas sing ngandhut fluorine beracun, kayata hidrogen fluorida (HF), sing uap banget ngganggu kulit lan saluran pernapasan lan mbebayani kanggo kesehatan manungsa.

Karat

Hidrogen fluorida lan sawetara fluorida banget korosif lan bisa nyebabake karusakan serius ing kulit, mata lan saluran pernapasan.

Kebakaran

Sawetara fluorida gampang kobong lan bereaksi karo oksigen utawa banyu ing udhara kanggo ngeculake panas lan gas beracun sing kuat, sing bisa nyebabake geni utawa bledosan.

Bebaya tekanan dhuwur

Sawetara gas fluorinated bisa mbledhos ing tekanan dhuwur lan mbutuhake perawatan khusus nalika digunakake lan disimpen.

Dampak ing lingkungan

Gas sing ngandhut fluorine nduweni umur atmosfer sing dhuwur lan nilai GWP, sing duweni efek ngrusak ing lapisan ozon atmosfer lan bisa nyebabake pemanasan global lan polusi lingkungan.

Aplikasi gas ing lapangan sing berkembang kayata elektronik terus saya jero, nggawa akeh permintaan anyar kanggo gas industri. Adhedhasar jumlah gedhe saka kapasitas produksi anyar komponen elektronik utama kayata semikonduktor lan panel tampilan ing daratan China ing sawetara taun sabanjuré, uga dikarepake kuwat kanggo substitusi ngimpor bahan kimia elektronik, industri gas elektronik domestik bakal mimpin ing. tingkat wutah dhuwur.